中國國產浸潤式DUV微影機量產，年內交付SMIC、中芯等三巨頭

上海一家國營企業已開始量產浸潤式DUV微影機，預計今年交付首批設備給中芯國際、華虹半導體與長鑫存儲，據The Information引述兩名知情人士報導。2026年目標產量約5台，2027年拉高到20台左右——這個節奏，說快不快，但方向已經定了。

這家廠商沒被點名，但消息來源指出其DUV研發團隊是從多家中國公司拼湊而來，其中包括國營新創上海裕量晟科技，中芯國際自去年9月起就在測試該公司的浸潤式設備。多數零組件已國產化，但部分關鍵零件仍仰賴日本供應，本土供應商的延遲也拖慢了今年的產能。

巧的是，中芯、華虹、長鑫，正好都是美國眾議院正在審議的MATCH Act(H.R. 8170）點名要切斷ASML銷售與維修服務的對象——連同華為、長江存儲共五家。這項法案的浸潤式DUV條款不只管新設備出口，連既有機台的維修與技術支援都涵蓋在內，等於連中國晶圓廠這兩年靠二手管道升級撐起來的既有機隊也要一併掐死。國產設備此時量產，某種程度上是被逼出來的保險。

但保險歸保險，追得上嗎？ASML自己這頭沒閒著：財務長Roger Dassen在7月法說會上說，2026年浸潤式系統出貨量約130台，與2025年持平，2027年產能還要再擴30%，2028年也在評估中。中國占ASML今年營收約二成，比去年的三成三明顯下滑，主因是主流邏輯晶片需求變化，不是被國產設備搶走生意——至少現在還不是。獨立機構AI Futures Project六月的分析給了一個更冷的判斷：中國浸潤式DUV要做到商用規模，得等到2030年代中期，ASML目前仍握有98.7%的浸潤式市場。新機台要真正上產線量產，還得花上好幾個月驗證，性能與製造品質也還落後ASML一截；中國的EUV自製進度更遠，去年12月路透首度證實的原型機，離量產仍是很多年後的事。

所以這則消息該怎麼看？它不是「中國追上ASML」的訊號，而是「中國準備好被斷供也能活下去」的訊號——量產時點卡在國會審法案的節骨眼上，不是巧合，是備胎提前上路。真正的產業意義在於：出口管制愈收愈緊，反而加速了中國自成一套供應鏈的決心，只是這條路，眼下看得到起點，看不到終點。